关于中科钢研节能科技有限公司第三代半导体材料制备关键共性技术北京市工程实验室创新能力建设项目补助资金的批复
京发改(审)[2017]309号
日期:2017-08-09 来源:北京市发展和改革委员会 受文单位:海淀区发展改革委
经审议,原则同意在政府投资计划中对该项目安排补助资金支持。现就有关事项批复如下: 一、项目名称:第三代半导体材料制备关键共性技术北京市工程实验室创新能力建设项目。二、项目承担单位:中科钢研节能科技有限公司。三、项目建设地点:海淀区学院南路76号。四、项目建设内容及目标:购置检测设备、加工设备、装备制造组件、各类实验耗材、水电公辅升级改造设施等软硬件,逐步完成晶体生长技术研发和综合性检测实验平台、晶体生长装备研发平台、信息与资源的服务和共享平台的建设,形成第三代半导体材料质量检测与性能检验硬件系统和规范,以及涵盖碳化硅原料、晶体、衬底等不同领域的评价方案,在高品质、大规格碳化硅的制造技术方面取得重大突破。